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若無(wú)光刻膠,光刻機(jī)將淪為一堆“廢鐵”,我國(guó)將如何應(yīng)對(duì)?

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導(dǎo)讀:若無(wú)光刻膠,光刻機(jī)將淪為一堆“廢鐵”,我國(guó)將如何應(yīng)對(duì)?

此前,日本東北部海域發(fā)生了里氏7.7級(jí)強(qiáng)烈地震,震源所在區(qū)域涵蓋了全球半導(dǎo)體材料的高密度聚集地帶。受此次地震影響,全球最大的光刻膠廠商?hào)|京應(yīng)化(TOK)位于該區(qū)域的工廠全面停止生產(chǎn),信越化學(xué)福島白河工廠也隨之停工。

據(jù)估算,這兩大工廠在全球高端光刻膠(如ArF、EUV等)產(chǎn)能中合計(jì)占比近45%,預(yù)計(jì)停工時(shí)長(zhǎng)為4至8周。一場(chǎng)天災(zāi),使得全球芯片供應(yīng)鏈再度面臨緊張局勢(shì):關(guān)鍵材料過(guò)度依賴(lài)單一來(lái)源,所蘊(yùn)含的風(fēng)險(xiǎn)極高。在半導(dǎo)體行業(yè),曾流傳著這樣一句話:若無(wú)光刻膠,光刻設(shè)備將淪為一堆廢鐵。



光刻膠這東西,在光刻工藝?yán)锬强墒巧倭怂恍小K呐浔裙に嚴(yán)蠌?fù)雜了,保質(zhì)期就只有6個(gè)月,沒(méi)法長(zhǎng)時(shí)間大量存著。它就像是給芯片涂的一種特殊涂料,主要作用就是成像。要是光刻膠供應(yīng)斷了,那再高端的芯片也是一堆沒(méi)用的廢渣。

我國(guó)的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)被西方“卡脖子”都好長(zhǎng)時(shí)間了,光刻膠一直得靠進(jìn)口,高端光刻膠咱自己能生產(chǎn)的比例連5%都不到。2024年的時(shí)候,日本官方花了比市值高30%的大價(jià)錢(qián)把光刻膠巨頭JSR給收購(gòu)了,還收歸“國(guó)有”。再加上信越化學(xué)、東京應(yīng)化這些日本企業(yè)一直深耕這個(gè)領(lǐng)域,日本在高端光刻膠這塊,占了全球差不多90%的份額。

在全球半導(dǎo)體市場(chǎng)里,光刻膠的產(chǎn)值占比連1%都不到,專(zhuān)門(mén)生產(chǎn)光刻膠的企業(yè)也特別少。以前啊,日本就利用自己在光刻膠供應(yīng)上的優(yōu)勢(shì),給韓國(guó)施壓。那時(shí)候日韓關(guān)系不好,日本限制往韓國(guó)出口光刻膠,把三星新一代芯片的良品率搞得一度只有10%。



此類(lèi)風(fēng)險(xiǎn),我們亦難以回避。往昔,日本企業(yè)掌控著全球近九成的光刻膠市場(chǎng),而我國(guó)g線、I線光刻膠的自給率僅為20%,更高端的KrF光刻膠自給率不足5%,高端原料基本依賴(lài)進(jìn)口。倘若供應(yīng)出現(xiàn)意外狀況,無(wú)論是政策政令的變動(dòng),還是自然災(zāi)害的影響,國(guó)內(nèi)晶圓廠均可能面臨生產(chǎn)線停擺的風(fēng)險(xiǎn)。

面對(duì)潛在的斷供威脅,我們并未消極以待。事實(shí)證明,唯有打破對(duì)進(jìn)口的依賴(lài),中國(guó)芯片產(chǎn)業(yè)方能突破重重桎梏。在堅(jiān)持自主研發(fā)的道路上,南大光電已有6款A(yù)rF光刻膠通過(guò)驗(yàn)證并投放市場(chǎng),2025年該品類(lèi)收入超2000萬(wàn)元;武漢太紫微自主研發(fā)的T150A光刻膠成功通過(guò)中芯國(guó)際28nm產(chǎn)線驗(yàn)證,分辨率達(dá)到120nm,良品率達(dá)93.7%,性能超越國(guó)外同級(jí)別產(chǎn)品;鼎龍股份年產(chǎn)300噸KrF/ArF高端光刻膠生產(chǎn)線也已投入生產(chǎn),實(shí)現(xiàn)了從核心原材料到成品光刻膠的全鏈條自主制造。

需指出的是,這些成果并非個(gè)例。在更為廣泛的科技領(lǐng)域,我國(guó)正不斷上演著從追趕、并跑到領(lǐng)跑的精彩篇章。不僅如此,從DeepSeek的迅猛崛起,將中美AI頂尖模型的性能差距從10%壓縮至2.7%(依據(jù)斯坦福2026 AI指數(shù)報(bào)告數(shù)據(jù)),到航空航天、新能源、高鐵等領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)反超,此類(lèi)突破在歷史進(jìn)程中持續(xù)涌現(xiàn)。



從光刻膠領(lǐng)域到人工智能,從生物科技范疇到新能源行業(yè),國(guó)內(nèi)企業(yè)的追趕與超越進(jìn)程正在全方位鋪開(kāi)?;仡欗n國(guó)的發(fā)展歷程,曾經(jīng)該國(guó)八成的光刻膠需依賴(lài)從日本進(jìn)口,然而在外部壓力的倒逼下,韓國(guó)企業(yè)最終毅然選擇自主研發(fā)之路,并逐步減少直至擺脫對(duì)日本的依賴(lài),日本也于2023年3月取消了此前實(shí)施的出口限制措施。

歷史已然清晰證明:過(guò)度依賴(lài)他國(guó),終究會(huì)陷入受制于人的被動(dòng)局面;唯有堅(jiān)持自主創(chuàng)新,方可牢牢掌握自身命運(yùn)走向。當(dāng)下,伴隨全球多個(gè)國(guó)家持續(xù)推進(jìn)光刻膠的自主研發(fā)工作,日本在光刻膠這一領(lǐng)域的絕對(duì)主導(dǎo)地位正面臨著前所未有的嚴(yán)峻挑戰(zhàn)。這一態(tài)勢(shì)也預(yù)示著,未來(lái)半導(dǎo)體材料領(lǐng)域的格局,將不再由單一國(guó)家所主宰。

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