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《芯片戰(zhàn)爭:世界最關(guān)鍵技術(shù)的爭奪戰(zhàn)》第五部分:光刻戰(zhàn)爭

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《芯片戰(zhàn)爭:世界最關(guān)鍵技術(shù)的爭奪戰(zhàn)》是美國經(jīng)濟史學(xué)家克里斯·米勒撰寫、蔡樹軍翻譯的科技類著作。該書以半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)全球分工為主線,追溯從冷戰(zhàn)至今的芯片技術(shù)發(fā)展歷程,闡釋芯片在現(xiàn)代軍事、經(jīng)濟和地緣政治中的戰(zhàn)略地位。全書涵蓋美國通過技術(shù)博弈確立主導(dǎo)地位、臺灣半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)崛起、華為5G技術(shù)受限等案例,分析全球芯片短缺與供應(yīng)鏈危機背后的國家競爭。書中提及美國《芯片法案》補貼政策、EUV光刻機研發(fā)困境等議題,揭示大國在人工智能與軍事技術(shù)領(lǐng)域的核心博弈。



光刻戰(zhàn)爭

1992年,當(dāng)約翰·卡拉瑟斯(JohnCarruthers)在加利福尼亞州圣克拉拉市英特爾總部的?個會議室坐下時,他沒想到向英特爾?席執(zhí)?官安迪·格魯夫索要2億美元會很容易。 作為英特爾研發(fā)?作的領(lǐng)導(dǎo)者,卡拉瑟斯習(xí)慣于下?賭注。有些成功了,有些失敗了,但英特爾的?程師們和業(yè)內(nèi)其他??樣,?多成功了。到1992年,由于格魯夫決定將英特爾的精?集中在個?電腦微處理器上,英特爾再次成為世界上最?的芯?制造商。

但卡拉瑟斯的要求遠(yuǎn)遠(yuǎn)超出了通常的研發(fā)項?。與業(yè)內(nèi)其他??樣,卡拉瑟斯知道現(xiàn)有的光刻?法很快將?法?產(chǎn)下?代半導(dǎo)體所需的更?的晶體管。光刻機公司正在推出使?深紫外光的?具,其波?為248納?或193納?,?眼看不?。但不久之后,芯?制造商將要求更?的光刻精度??ɡ瓜朊闇?zhǔn)波?為13.5納?的極紫外光。波?越短,可以制作在芯?上的器件尺?就越?。只有?個問題:?多數(shù)?認(rèn)為極紫外光不可能?規(guī)模產(chǎn)?。

格魯夫懷疑地問道:“你是想告訴我,你打算把錢花在?些我們甚?不知道是否會奏效的事情上?”卡拉瑟斯反駁道:“是的,安迪,這叫研究。”格魯夫求助于英特爾前?席執(zhí)?官?登·摩爾,摩爾仍然是該公司的顧問。格魯夫問道:“你會怎么做,?登?”摩爾反問道:“嗯,安迪,你還有其他選擇嗎?”答案很明顯:沒有。芯??業(yè)要么學(xué)會使?越來越短的波?進(jìn)?光刻,要么摩爾定律對應(yīng)的晶體管縮?將停?。這樣的結(jié)果將給英特爾的業(yè)務(wù)帶來毀滅性的打擊,也會給格魯夫帶來恥辱。格魯夫給了卡拉瑟斯2億美元,?于開發(fā)EUV光刻技術(shù)。英特爾最終花費了數(shù)?億美元進(jìn)?研發(fā),還花費了數(shù)?億美元學(xué)習(xí)如何使?EUV光刻芯?。英特爾從未計劃制造??的EUV設(shè)備,但需要保證?少有?家世界先進(jìn)的光刻機公司將EUV設(shè)備推向市場,這樣英特爾就可以擁有光刻更?器件所需的?具。

?從杰伊·萊思羅普在美國軍事實驗室把顯微鏡倒置以來,光刻技術(shù)的未來?任何時候都更加令?懷疑。光刻?業(yè)存在三個問題:?程、商業(yè)和地緣政治。在芯?制造的早期,晶體管尺?很?,光刻機使?的光波?關(guān)緊要。但是,摩爾定律已經(jīng)發(fā)展到光波波?的尺度(?百納?,取決于光顏?),光波會嚴(yán)重影響光刻的質(zhì)量。到了20世紀(jì)90年代,最先進(jìn)的晶體管以數(shù)百納?為單位進(jìn)?度量,但?們已經(jīng)有可能設(shè)想出?度只有??納?的更?的晶體管。

?多數(shù)研究?員認(rèn)為,?產(chǎn)這種晶體管尺?的芯?,需要更先進(jìn)的光刻機。?些研究?員試圖使?電?束來光刻,但電?束光刻技術(shù)的速度始終不夠快,?法?規(guī)模?產(chǎn)。其他?把賭注押在X射線或極紫外光上,每?種都會與不同的光刻膠化學(xué)物質(zhì)發(fā)?反應(yīng)。在?年?度的國際光刻專家會議上,科學(xué)家們討論了哪種技術(shù)會獲勝。?位與會者說,現(xiàn)在是?個在相互競爭的?程師群體之間的“光刻戰(zhàn)爭”時代。

尋找新的最好光源的“戰(zhàn)爭”,只是光刻未來三場競賽中的?場。第?場競賽是商業(yè)性的,是關(guān)于哪家公司將制造下?代光刻機。開發(fā)新光刻設(shè)備的巨?成本推動了?業(yè)的集中,?家或兩家公司將主宰市場。在美國,GCA已經(jīng)被清算,?硅?集團(SiliconValleyGroup)——?家從珀?埃爾默衍?出來的光刻機公司,遠(yuǎn)遠(yuǎn)落后于市場領(lǐng)導(dǎo)者佳能和尼康。20世紀(jì)80年代,美國芯?制造商抵擋住了?本的挑戰(zhàn),但美國光刻機制造商沒有。

佳能和尼康唯?真正的競爭對?是阿斯?,這是?家規(guī)模雖?但正在成?的荷蘭光刻機公司。1984年,荷蘭電?公司?利浦剝離內(nèi)部光刻部?,創(chuàng)建了阿斯?。在芯?價格暴跌導(dǎo)致GCA業(yè)務(wù)下滑的同時,分拆的時機也?常糟糕。更重要的是,在距離荷蘭與?利時邊境不遠(yuǎn)的維爾德霍芬鎮(zhèn),似乎不太可能誕?半導(dǎo)體?業(yè)的世界級公司。歐洲是?個相當(dāng)?的芯??產(chǎn)地,但明顯落后于硅?和?本。

1984年,當(dāng)荷蘭?程師弗?茨·范霍特(FritsvanHout)在獲得物理碩?學(xué)位并加?阿斯?時,公司員?問他是?愿還是被迫接受這份?作。 范霍特回憶道,阿斯?除了與?利浦的關(guān)系,“我們既沒有制造設(shè)施,也沒有錢”。 為光刻機建造龐?的內(nèi)部制造設(shè)施是不可能的,取?代之,該公司決定從世界各地精?采購零部件組裝系統(tǒng)。依賴其他公司的關(guān)鍵組件會帶來明顯的?險,但阿斯?學(xué)會了防范這些?險。盡管?本試圖制造所有部件,但阿斯?可以購買市場上最好的部件。 隨著阿斯?開始專注于開發(fā)EUV?具,從不同來源集成組件的能?成為其最?的優(yōu)勢。

出乎意料的,阿斯?的第?個優(yōu)勢是它在荷蘭的位置。20世紀(jì)80年代和90年代,阿斯?在?本和美國之間的貿(mào)易爭端中被視為中?。美國公司將阿斯?視為尼康和佳能值得信賴的替代者。例如,當(dāng)美國DRAM初創(chuàng)公司美光想要購買光刻機時,它轉(zhuǎn)向了阿斯?,?不是依賴兩個主要的?本供應(yīng)商,這兩個供應(yīng)商都與美光在?本的DRAM競爭對?有著千絲萬縷的聯(lián)系。

阿斯?從?利浦分拆出來的歷史也以驚?的?式促進(jìn)了與臺積電的深厚關(guān)系。?利浦?直是臺積電的基?投資者,曾將其制造?藝技術(shù)和知識產(chǎn)權(quán)轉(zhuǎn)讓給初創(chuàng)的臺積電。這給了阿斯??個內(nèi)置市場,因為臺積電的晶圓?是圍繞?利浦的制造?藝設(shè)計的。1989年,臺積電晶圓?的?場意外?災(zāi)也在?定程度上起了推動作?,臺積電因此購買了另外19臺新的光刻機,這些費?由?災(zāi)保險?付。阿斯?和臺積電最初都是芯??業(yè)邊緣的?公司,但它們共同成?,形成了?種伙伴關(guān)系。如果沒有這種伙伴關(guān)系,那么如今的計算技術(shù)進(jìn)步將停滯不前。

阿斯?和臺積電的合作關(guān)系指向了20世紀(jì)90年代的第三場“光刻戰(zhàn)爭”。這是?場政治競賽,盡管很少有?業(yè)或政府的?愿意?這類術(shù)語來思考。當(dāng)時,美國正在慶祝冷戰(zhàn)結(jié)束,并兌現(xiàn)其和平紅利。如果以技術(shù)、軍事或經(jīng)濟實?來衡量,那么美國領(lǐng)先于世界其他國家,?論是其盟友還是對?。?位頗具影響?的評論員宣稱,20世紀(jì)90年代是?個“單極時代”,美國的主導(dǎo)地位是毋庸置疑的。 了美國可怕的技術(shù)和軍事實?。

1992年,當(dāng)安迪·格魯夫準(zhǔn)備批準(zhǔn)英特爾在EUV光刻技術(shù)研究??的第?筆重?投資時,?們很容易理解為什么即使是從冷戰(zhàn)軍事?業(yè)綜合體中崛起的芯??業(yè),也得出了政治不再重要的結(jié)論。這位管理?師承諾,在未來的“?國界世界”,全球商業(yè)格局將由利潤??權(quán)?來塑造。 經(jīng)濟學(xué)家在談?wù)摷铀偃蚧?席執(zhí)?官和政治家們都接受了這些新的時尚觀點。與此同時,英特爾再次占據(jù)了半導(dǎo)體業(yè)務(wù)的頂端。英特爾曾抵擋住了其?本競爭對?,當(dāng)時?乎壟斷了個?電腦芯?的全球市場。?1986年以來,英特爾每年都贏利。 為什么它還要擔(dān)?政治?

1996年,英特爾與美國能源部運營的?個實驗室建?了合作伙伴關(guān)系,這些實驗室在光學(xué)和其他領(lǐng)域擁有使EUV?作所需的專業(yè)知識。?位?業(yè)內(nèi)??回憶道,英特爾召集了六家芯?制造商加?該聯(lián)盟,但英特爾?付了95%的費?。 英特爾知道勞倫斯·利弗莫爾(LawrenceLivermore)和桑迪亞(Sandia)國家實驗室的研究?員擁有制造EUV原型系統(tǒng)的專業(yè)知識,但其重點是科學(xué),?不是?規(guī)模?產(chǎn)。

卡拉瑟斯解釋道,英特爾的?標(biāo)是“制造東?,?不僅僅是測量”,因此該公司開始尋找?家能夠商業(yè)化和?規(guī)模?產(chǎn)EUV?具的公司。結(jié)果,沒有?家美國公司能做到這?點。GCA不再存在。美國最?的光刻機公司是硅?集團,但該公司在技術(shù)上落后。美國政府對20世紀(jì)80年代的貿(mào)易摩擦仍然很敏感,不希望?本的尼康和佳能與美國國家實驗室合作,盡管尼康認(rèn)為EUV技術(shù)不會奏效。對于美國來說,阿斯?是僅存可選的光刻機公司。

讓外國公司獲得美國國家實驗室最先進(jìn)研究成果的想法,在華盛頓引發(fā)了?些問題。EUV光刻技術(shù)并沒有?即應(yīng)?于軍事領(lǐng)域,當(dāng)時還不清楚EUV能否發(fā)揮作?。但如果真的這樣做了,那么美國將依賴阿斯?作為所有計算的基礎(chǔ)?具。但除了美國國防部的?些官員外,華盛頓?乎沒有?擔(dān)?。 ?多數(shù)?認(rèn)為,阿斯?和荷蘭政府是可靠的合作伙伴。對政治領(lǐng)導(dǎo)?來說,更重要的是對就業(yè)的影響,?不是地緣政治。 美國政府要求阿斯?在美國建??個??,為其光刻機制造組件,并向美國客戶提供產(chǎn)品和雇?美國員?,但阿斯?的?部分核?研發(fā)在荷蘭進(jìn)?。美國商務(wù)部、國家實驗室和相關(guān)公司的關(guān)鍵決策者表示,政府在做此決定的時候沒有考慮太多的政治因素。

盡管?期拖延和巨額成本超?,但是EUV伙伴關(guān)系仍緩慢取得進(jìn)展。尼康和佳能被排除在美國國家實驗室的研究之外,決定不制造??的EUV?具,使阿斯?成為世界上唯?的?產(chǎn)商。與此同時,2001年,阿斯?收購了美國最后?家?型光刻機公司硅?集團。當(dāng)時,硅?集團已經(jīng)遠(yuǎn)遠(yuǎn)落后于?業(yè)領(lǐng)先者,但?們再次質(zhì)疑該交易是否符合美國的安全利益。在DARPA和美國國防部(數(shù)?年來?直在資助光刻?業(yè))內(nèi)部,?些官員反對這次交易。美國國會也提出了擔(dān)憂,三位參議員寫信給喬治·W.布什總統(tǒng),稱“阿斯?最終將擁有美國政府的所有EUV光刻技術(shù)”。

這是不可否認(rèn)的事實,但美國的實?正處于巔峰,華盛頓的?多數(shù)?認(rèn)為全球化是?件好事。美國政府的主要信念是,通過?勵俄羅斯或中國等?國專注于獲取財富??地緣政治?量來擴?貿(mào)易和供應(yīng)鏈聯(lián)系將促進(jìn)“和平”。聲稱美國光刻業(yè)的衰落將危及安全的說法被認(rèn)為與全球化和互聯(lián)互通的新時代格格不?。與此同時,芯??業(yè)只是想盡可能?效地制造半導(dǎo)體,在沒有?型光刻機公司的情況下,除了押注于阿斯?,美國還有什么選擇?

英特爾和其他?型芯?制造商認(rèn)為,將硅?集團出售給阿斯?對于開發(fā)EUV光刻機?關(guān)重要,因此對計算的未來?關(guān)重要。2001年,英特爾新任?席執(zhí)?官克雷格·巴雷特表示:“如果?者不合并,美國開發(fā)新?具的過程將被推遲?!崩鋺?zhàn)結(jié)束后,剛剛上臺的布什政府希望放松對所有商品的技術(shù)出?管制,直接?于軍事?途的商品除外,政府將該戰(zhàn)略描述為“圍繞最?敏感度的技術(shù)建造?墻”,但EUV光刻技術(shù)沒有被列?其中。

因此,下?代EUV光刻機將主要在國外組裝,盡管?些部件仍在康涅狄格州的?個??中制造。凡是提出美國如何保證獲得EUV?具的問題的?,都被指責(zé)在全球化世界中保持冷戰(zhàn)思維。那些談?wù)摷夹g(shù)在全球傳播的商業(yè)?師卻在曲解現(xiàn)狀。產(chǎn)?EUV光刻技術(shù)的科學(xué)?絡(luò)遍布全球,匯集了來?美國、?本、斯洛?尼亞和希臘等不同國家的科學(xué)家。 但EUV光刻機的制造不是全球化的,?是壟斷的,由單?公司管理的單?供應(yīng)鏈將控制光刻技術(shù)的未來。

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