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突破封鎖有望,中國交付首臺光芯片壓印機(jī),成本砍至DUV十分之一

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為了不讓中國擁有世界主流水準(zhǔn)的光刻機(jī),以美為首的西方各國可謂是花招頻出,今天管控這個,明天制裁那個,仿佛我們只要有一點(diǎn)突破他們封鎖得的苗頭,他們就要百般阻撓,不過好在這一切都將成為過去式了。

就在2026年6月10日,權(quán)威媒體鳳凰網(wǎng)國際的一則報道,直接把之前西方忙著搞封鎖的那點(diǎn)動靜,全給蓋過去了。



誰也沒有想到,就在今年6月5日,我們竟成功突破了西方的光刻機(jī)封鎖,那個由我國自主研發(fā)的首臺晶圓級納米壓印光刻設(shè)備,在這天被正式交付給了深圳的企業(yè)。

更讓人歡喜的是,這臺光芯片壓印機(jī)設(shè)備,即將開啟一個獨(dú)屬于中國的時代。



本文信源來自權(quán)威報道【哇喔(環(huán)球網(wǎng))】【鳳凰網(wǎng)國際】【觀察者網(wǎng)】【萬聯(lián)萬象】(詳細(xì)信源附在文章末尾)。為提升文章可讀性,細(xì)節(jié)可能存在潤色,請理智閱讀,僅供參考!

越卡越急,連已賣的設(shè)備都不讓修了

這事說起來,恐怕還得往前倒一段,之前美國就一直逼著荷蘭,不讓他們把光刻機(jī)賣給我們,一開始只是卡最頂級的EUV機(jī)型,后來范圍越來越大,連成熟的DUV機(jī)型都不讓賣了。

等到了2026年5月20日的時候,西方對我們的打壓就更加過分了,荷蘭政府在美國的授意下,直接要求阿斯麥公司,暫停給中國部分已經(jīng)交付的設(shè)備做后續(xù)維護(hù)。



也就是說,之前我們花錢買的機(jī)器,現(xiàn)在人家連修都不給修了,就怕我們接著用這些機(jī)器做芯片。

這事當(dāng)時在行業(yè)里鬧得很大,連阿斯麥自家的高層都覺得離譜,早在2025年的一場行業(yè)峰會上,阿斯麥的CEO就公開說過,孤立中國是沒有希望的。



他當(dāng)時就明確表示,他們應(yīng)該把那些落后頂端技術(shù)十年的光刻機(jī)技術(shù)賣給中國,這樣才能保證西方的技術(shù)優(yōu)勢,不然的話,西方的步步緊逼,只會讓中國變得更有競爭力。

可誰也沒料到,如今的西方連這點(diǎn)落后的技術(shù),都不愿意再給我們了,他們以為,只要把光刻機(jī)這條路堵死,我們的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)就沒辦法往前走了。



本來外界都覺得,這么一卡,我們的產(chǎn)業(yè)得緩一緩,畢竟光刻機(jī)一直是大家眼里的短板,可誰也沒料到,這股沒道理的壓力,反而把我們研發(fā)團(tuán)隊的勁全給逼出來了。

要知道,在之前很多企業(yè)都是因?yàn)橛羞M(jìn)口設(shè)備可用,這導(dǎo)致了哪怕技術(shù)落后于他們,也沒企業(yè)愿意花大精力去啃光刻機(jī)這塊硬骨頭,可是在如今呢?我們被逼得不得不啃!



繞開光學(xué)路線,我們搞出了專用新設(shè)備

這次交付的PL-AS真空氣壓式晶圓級納米壓印光刻設(shè)備,就是這幫人啃下來的結(jié)果,需要注意的是,這臺機(jī)器,跟我們之前熟悉的光刻機(jī)完全不是一個路子。

傳統(tǒng)的光刻機(jī),不管是DUV還是EUV,都是靠深紫外或者極紫外的光束,在晶圓的光刻膠上曝光出電路圖案,然而這臺由璞璘科技自主研發(fā)的光刻機(jī),卻并不是這么一回事。



為了把線寬做小,他們要做精度極高的鏡頭,調(diào)整復(fù)雜到極致的光路,整個設(shè)備做下來,成本高得嚇人,而且耗電特別大。

要知道,一臺EUV光刻機(jī)的用電量,相當(dāng)于一個小型工廠的總和,很多工廠為了供它的電,都要單獨(dú)配變電站。



然而這臺由我國自主研發(fā)的新設(shè)備,卻完全繞開了這套光學(xué)的路子,它不用復(fù)雜的光束去曝光,而是用物理壓印的方式來轉(zhuǎn)移電路圖案。

這種方式,可以提前把電路圖案做在專用的模板上,把模板和晶圓精準(zhǔn)對準(zhǔn)之后,壓下去,讓晶圓上的光刻膠跟著模板的形狀成型,之后脫模,納米級的電路圖案就直接轉(zhuǎn)移到晶圓上了。



整個過程,不需要那些天價的光學(xué)鏡頭,也不需要復(fù)雜的光路調(diào)整,設(shè)備的成本一下子就降了下來。

而且這不是璞璘科技第一次搞這類設(shè)備,早在2025年8月,他們就已經(jīng)交付過國內(nèi)首臺半導(dǎo)體級的步進(jìn)式納米壓印系統(tǒng)PL-SR,更絕的是,這臺設(shè)備已經(jīng)能支持10nm級的線寬,還能用到存儲芯片、先進(jìn)封裝等多個領(lǐng)域。



這次的PL-AS,是他們專門針對光芯片的制造需求優(yōu)化出來的專用款,已經(jīng)成功交付給了深圳力策科技,雙方已經(jīng)一起完成了8英寸光芯片晶圓的規(guī)模化量產(chǎn)驗(yàn)證,不是實(shí)驗(yàn)室里的樣品,是真的能拿到生產(chǎn)線上去大規(guī)模生產(chǎn)的。

更讓人歡喜的是,這臺設(shè)備的用電量,讓人們看到了國產(chǎn)光刻機(jī)的希望,誰能想到,它只有EUV光刻機(jī)的十分之一,買一臺這樣的設(shè)備,投資比傳統(tǒng)的光刻機(jī)直接砍掉了六成。



最關(guān)鍵的是,用這臺設(shè)備做光芯片,核心的圖案化工序的綜合制造成本還被不斷壓縮,直接被壓縮到了DUV方案的十分之一,所謂物美價廉莫過于此。

之前用DUV做一片8英寸的光芯片,光是圖案化這一步,成本就要大幾百塊,現(xiàn)在用這個設(shè)備,只要幾十塊,之前很多中小廠,想做光芯片,但是買不起昂貴的DUV光刻機(jī),根本玩不起,現(xiàn)在這個設(shè)備出來,他們也能進(jìn)場了。



之前那些西方的政客,還想著把光刻機(jī)的路堵死,以為這樣我們就做不出高端的光芯片了。

可他們沒想到,我們根本沒跟著他們的光學(xué)光刻機(jī)的路線死磕,而是換了一條路,把他們之前沒當(dāng)回事的技術(shù),做成了能落地量產(chǎn)的設(shè)備。



封鎖逼出來的,是沒人想到的新賽道

其實(shí)納米壓印這個技術(shù),國外早就有研究了,早十幾年前,就有國外的科研機(jī)構(gòu)在做這個方向,但是一直沒怎么往下推。

原因很簡單,他們有成熟的光學(xué)光刻機(jī),能滿足市場的需求,賣一臺光刻機(jī)能賺好幾億,這也就導(dǎo)致了,沒人愿意花大價錢,把這個低成本的技術(shù)做成熟,砸自己的生意。



可我們不一樣,我們被他們卡著脖子,買不到高端的光刻機(jī),沒辦法,只能把這個沒人愿意深耕的技術(shù),往深了做,硬生生把實(shí)驗(yàn)室里的技術(shù),打磨成了能在生產(chǎn)線上用的工業(yè)設(shè)備,還把成本做到了這么低的程度。

之前有個荷蘭的教授就說過,光刻機(jī)的出口管制,根本就是美國的命令,荷蘭太小了,沒辦法反對。

但是長遠(yuǎn)來看,即便荷蘭不管制光刻機(jī),對我們也不是什么好事,這只會讓中國過度依賴于西方的技術(shù)——無論哪種,對中國都不友好。



想要出路,我們只有自己突破封鎖,掌握獨(dú)屬于自己的技術(shù),現(xiàn)在看來,這一舉動真的太明智了。

之前他們還在忙著停設(shè)備維護(hù)、禁新設(shè)備出口,轉(zhuǎn)頭我們的壓印設(shè)備已經(jīng)交付量產(chǎn)了,那些想著靠封鎖卡我們的人,算盤徹底打空了。



而阿斯麥CEO之前的擔(dān)心,也不是沒道理,他早就說過,要是把中國逼急了,他們會搞出我們沒想到的解決方案,當(dāng)時很多人還覺得,這只是他為了能賣設(shè)備找的借口,現(xiàn)在看來,他說的全是實(shí)話。

結(jié)語:

我們沒去跟他們搶光學(xué)光刻機(jī)的那條窄路,而是自己開了一條新的賽道,在光芯片這個領(lǐng)域,我們用自己的方式,把成本打了下來,把產(chǎn)能提了上去,不用再看別人的臉色。

這臺設(shè)備的交付,只是一個開始,在光刻機(jī)這個領(lǐng)域,我們不用一直跟著別人的腳步走,別人堵了一條路,我們就自己開一條新的,一步步踩實(shí)了,就能走出屬于自己的路子。

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