“我們的課堂在無塵車間，課題就是企業(yè)的研發(fā)難題?！?月中旬，上海海洋大學首屆集成電路專項班研究生胥沛雯和周正剛剛脫下碩士袍、參加完畢業(yè)典禮，就帶著一份格外特別的“畢業(yè)成績單”前往上海邦芯半導體。

就在不久前，他們帶著兩年半扎根企業(yè)一線攻克國產(chǎn)芯片制造“卡脖子”工藝的實戰(zhàn)成果，在一場設(shè)于企業(yè)內(nèi)部的碩士學位論文答辯會上，贏得了高校教授和國家級行業(yè)專家的全票通過，成為上海海洋大學首批以實踐成果申請并獲授碩士學位的專業(yè)碩士。

打造產(chǎn)教融合“海大方案”

“一代設(shè)備，一代工藝，一代芯片”。在全球科技競爭日趨白熱化的今天，高端制造裝備自主可控已成為我國實現(xiàn)科技自立自強的核心關(guān)鍵。上海海洋大學與邦芯半導體強強聯(lián)合，緊密圍繞國產(chǎn)關(guān)鍵機臺底層技術(shù)需求打造集成電路專項班，正是肩負“大國重器、自主突圍”時代使命的生動實踐。

專項班深度對接《支持臨港新片區(qū)加大先行先試探索深化產(chǎn)教融合城市建設(shè)若干措施》與《上海高等教育質(zhì)量提升十大專項計劃實施方案（2023—2026年）》要求，堅持“把企業(yè)真實痛點作為畢業(yè)課題，把實戰(zhàn)設(shè)備工藝突破作為畢業(yè)答卷”，探索形成了可復制、可推廣的產(chǎn)教融合工程碩博士培養(yǎng)“海大方案”。

無塵車間里“煉”出真本事

首屆專項班的兩位同學自2024年3月加入聯(lián)合培養(yǎng)項目以來，便一頭扎進邦芯半導體的無塵車間，將課題直指制約國產(chǎn)設(shè)備突圍的最前沿技術(shù)盲區(qū)，在真實的產(chǎn)業(yè)環(huán)境中淬煉解決復雜工程問題的真本領(lǐng)。

胥沛雯深耕深硅刻蝕，為三維先進封裝破題

胥沛雯啃的“深硅刻蝕”這根硬骨頭是三維先進封裝的關(guān)鍵工藝，稍有不慎就會出現(xiàn)側(cè)壁缺陷、加工效率上不去。在許競翔教授和王士京博士指導下，他依托邦芯自研的“Topaz”深硅刻蝕機，泡在車間里反復調(diào)試參數(shù)，手指在設(shè)備面板上飛舞了成百上千次，最終自主開發(fā)出原位平滑工藝，還提出了等效開口率負載模擬法。兩年半下來，他硬是“攢”出了6項發(fā)明專利，交出了一份讓企業(yè)專家都豎起大拇指的實戰(zhàn)答卷。

周正潛心鎢金屬填充，為先進制程互連攻關(guān)

周正則“鉆”進了鎢金屬填充的世界。在褚振華教授和涂樂義博士指導下，他另辟蹊徑，從設(shè)備底層控制架構(gòu)“動手術(shù)”，引入可編程邏輯控制器和可控硅調(diào)壓器，把傳統(tǒng)設(shè)備的“反應慢”“溫度飄”的毛病一一治服。他開發(fā)的低阻鎢微孔填充工藝，硬是在低電阻、高填充率和量產(chǎn)效率之間找到了那個“黃金平衡點”，還拿下了2項授權(quán)發(fā)明專利。

從車間答辯走向產(chǎn)業(yè)舞臺

為全方位評估專項班學生的培養(yǎng)質(zhì)量，本次答辯委員會由張江實驗室、上海邦芯半導體及外部行業(yè)資深專家共5人組成，嚴格按照專業(yè)工程碩士培養(yǎng)標準進行評審。答辯過程中，兩位同學不僅系統(tǒng)闡述了工藝方案設(shè)計、產(chǎn)線機臺驗證、研究結(jié)論突破的完整工程實踐鏈條，更針對答辯委員會提出的核心工藝產(chǎn)業(yè)化前景、設(shè)備實際運行狀況、工程落地價值等實戰(zhàn)問題，給出了條理清晰、專業(yè)扎實的解答。經(jīng)閉門評議并無記名投票，答辯委員會一致認為，兩名同學的學位論文達到了專業(yè)工程碩士研究生水平，其展現(xiàn)出的解決復雜工程問題的能力和產(chǎn)業(yè)實踐素養(yǎng)得到了專家們的高度評價。

將學位論文答辯現(xiàn)場“搬”進企業(yè)，是上海海洋大學落實《中華人民共和國學位法》要求、推進研究生教育評價改革的重要舉措。這一模式打破了傳統(tǒng)“唯論文”的評價體系，樹立了“以實踐成果為核心、以產(chǎn)業(yè)貢獻為導向”的工程人才評價新標準，實現(xiàn)了人才培養(yǎng)與產(chǎn)業(yè)需求的無縫銜接。

校方透露，未來將繼續(xù)攜手邦芯半導體等行業(yè)頭部企業(yè)，秉持“產(chǎn)教融通、協(xié)同育人”理念，讓更多學生在無塵車間的“煙火氣”中成長。

原標題：《課堂在無塵車間，課題是工藝難題！這兩名研究生靠實踐成果通過學位答辯！》